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高纯氮

  • 产品名称:高纯氮
  • 产品分类:高纯氮
  • 公司名称:江南APP
  • 添加时间:21/03/26
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  高纯氮
  一、物理性质
  分子式:N2
  性质:纯度大于99.999%。无色无臭无味无毒的惰性气体。相对密度ds(21.1℃,空气=1)0.967。气体密度1.153kg/m3(21.1℃,101.3kPa);液体密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。
  相对分子质量 28.013
  熔点 63.15K,-210℃,-346oF
  沸点,195.6
  纯化方法:主要有吸附法、变压吸附法、膜分离法等。在生产中,通常采用黑色钢瓶盛放氮气。
  二、用途
  在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统必须先用高纯氮置换,再用高纯氦置换。
  三、纯化方法
  1、加氢除氧法
  在催化剂作用下,普氮中残余氧和加入的氢发生化学反应生成水,其反应式:2H2+O2=2H2O,再通过后级干燥除去水份,而获得下列主要成份的高纯氮:N2≥99.999 %,O2≤5×10-6,H2≤1500×10-6,H2O≤10.7×10-6。制氮成本在0.5元/m3左右。
  2、加氢除氧、除氢法
  此法分三级,加氢除氧,除氢,除水,获得下列组成的高纯氮:N2≥99.999%,O2≤5×10-6,H2≤5×10-6,H2O≤10.7×10-6。制氮成本在0.6元/m3左右。


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